清洁规定：（1）清理洁净室内的墙时应应用洁净室无尘擦拭布；（2）用90％去离子水和10％的配备清洁液；（3）应用已获准许的洁净室除污剂；（4）每日都要查验车间和储备间的垃圾桶，并立即清走。（5）每片木地板都要吸尘。每一次---时，都应在地图上标出工作中进行状况，例如在哪儿完毕从哪逐渐。（6）清理洁净室的路面应应用拖布。（7）在洁净室里吸尘应应用含有送风口的真空泵吸尘器。（8）全部的门都必须查验并擦拭

5.芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

6.操作时，不论是否戴上手套，手能放进清洗水槽。

7.使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。

8.摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。

9.请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。

10.手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维---多必须换新。

11.非经指示，可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

12.奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。

13.仪器因操作错误而有任何损坏时，务必---告知负责人员或老师。

14.芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。

15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入